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申请/专利权人：成都市晶蓉微电子有限公司
摘要：本发明公开了一种MEMS加速度计的协同补偿方法，包括：步骤S1：在MEMS加速度计使用温度量程内并且处于零位状态下，对各个温度点下的加速度输出和温度输出进行预设个数的间隔采样；步骤S2：步骤S1采样完成后，利用最小二乘法对零偏数据进行拟合，拟合后完成温度补偿系数的标定；步骤S3：写入温度补偿系数，对MEMS加速度计的加速度在满量程内进行预设个数的间隔采样，采样完成后，进行标定因素的最小二乘法拟合，拟合后完成非线性补偿系数的标定；本方案解决了温度漂移和标度因素非线性带来的加速度计的性能误差问题。
主权项：1.一种MEMS加速度计的协同补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1：在MEMS加速度计使用温度量程内并且处于零位状态下，对各个温度点下的加速度输出和温度输出进行预设个数的间隔采样；步骤S2：步骤S1采样完成后，利用最小二乘法对零偏数据进行拟合，拟合后完成温度补偿系数的标定；步骤S3：写入温度补偿系数，对MEMS加速度计的加速度在满量程内进行预设个数的间隔采样，采样完成后，进行标定因素的最小二乘法拟合，拟合后完成非线性补偿系数的标定；计算公式为： ；其中，即是关于温度的零偏因子；是MEMS加速度计的输出；是零偏温度补偿后的加速度；是刻度因子非线性补偿后的加速度，、、、...、为零偏温度补偿系数；、、...、为刻度因子非线性补偿系数；为多项式系数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都市晶蓉微电子有限公司 一种MEMS加速度计的协同补偿方法
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