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金属-绝缘体-金属(MIM)电容器模块 

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申请/专利权人:微芯片技术股份有限公司

摘要:一种金属‑绝缘体‑金属MIM电容器,该金属‑绝缘体‑金属MIM电容器包括:底部电极;绝缘体杯,该绝缘体杯形成在该底部电极上;顶部电极,该顶部电极形成在由该绝缘体杯限定的开口中;顶部电极连接元件,该顶部电极连接元件电连接到该顶部电极;竖直延伸的底部电极接触件,该竖直延伸的底部电极接触件电连接到该底部电极;以及底部电极连接元件,该底部电极连接元件电连接到该竖直延伸的底部电极接触件。该底部电极形成在下部金属层中。该绝缘体杯形成在电介质区中的桶开口中,并且包括形成在该底部电极上的横向延伸的绝缘体杯基部和从该横向延伸的绝缘体杯基部向上延伸的竖直延伸的绝缘体杯侧壁。该顶部电极连接元件和该底部电极连接元件形成在上部金属层中。

主权项:1.一种金属-绝缘体-金属MIM电容器模块,所述金属-绝缘体-金属MIM电容器模块包括:底部电极,所述底部电极形成在下部金属层中,绝缘体杯,所述绝缘体杯形成在所述下部金属层上方的电介质区中的桶开口中,所述绝缘体杯包括:横向延伸的绝缘体杯基部,所述横向延伸的绝缘体杯基部形成在所述底部电极上;和竖直延伸的绝缘体杯侧壁,所述竖直延伸的绝缘体杯侧壁从所述横向延伸的绝缘体杯基部向上延伸;顶部电极,所述顶部电极形成在由所述绝缘体杯限定的开口中;竖直延伸的底部电极接触件,所述竖直延伸的底部电极接触件形成在所述电介质区中并且接触所述底部电极;以及顶部电极连接元件和底部电极连接元件,所述顶部电极连接元件和所述底部电极连接元件形成在上部金属层中,所述顶部电极连接元件电连接到所述顶部电极,并且所述底部电极连接元件电连接到所述竖直延伸的底部电极接触件。

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权利要求:

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