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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种防止吐出口中的液滴下落的处理液吐出配管、及包括所述处理液吐出配管的基板处理装置。处理液吐出配管41在内部具有供处理液流通的流路44，且将在流路44中流通的处理液自吐出口41A朝基板表面吐出。流路44包括：壁面的至少一部分为亲水性的亲水性流路、及第二配管流路442。在将处理液吐出配管41安装于基板处理装置的状态下，第二配管流路442相对于铅垂方向而倾斜，且使上游侧的端部高于下游侧的端部。
主权项：1.一种处理液吐出配管，安装于对基板表面吐出处理液的处理装置，包括：流路，供所述处理液流通；以及吐出口，对所述基板表面吐出在所述流路内流通的处理液，且所述流路包括：壁面的至少一部分为亲水性的亲水性流路，在安装于所述处理装置的状态下，所述亲水性流路相对于铅垂方向而倾斜，且使上游侧的端部高于下游侧的端部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 处理液吐出配管以及基板处理装置
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