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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置具备：保持部，其以将外周的至少一部分呈圆形的基板的主面朝向上方的方式保持基板；喷嘴，其具有底部，该底部形成有在一个方向上延伸的喷出口；移动机构，其为了利用毛细管现象从喷嘴的喷出口向基板的主面喷出处理液，而在保持于保持部的基板的上方，以喷嘴的底部与基板的主面之间隔开预定距离以下的间隙的状态，在与一个方向交叉的交叉方向上使喷嘴和基板中的至少一方相对于另一方相对移动；以及控制部，其控制移动机构，以基于基板的外周形状决定的移动速度使喷嘴和基板相对移动。
主权项：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备：保持部，其以将外周的至少一部分呈圆形的基板的主面朝向上方的方式保持所述基板；喷嘴，其具有底部，该底部形成有在一个方向上延伸的喷出口；移动机构，其为了利用毛细管现象从所述喷嘴的所述喷出口向所述基板的所述主面喷出处理液，而在保持于所述保持部的所述基板的上方，以所述喷嘴的所述底部与所述基板的所述主面之间隔开预定距离以下的间隙的状态，在与所述一个方向交叉的交叉方向上使所述喷嘴和所述基板中的至少一方相对于另一方相对移动；以及控制部，其控制所述移动机构，以基于所述基板的外周形状决定的移动速度使所述喷嘴和所述基板相对移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置以及基板处理方法
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