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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

摘要：本发明提供一种提高使载置于对准器之上的晶圆向接触探针卡的探针的位置移动时的位置精度的检查装置。其执行包括如下工序的处理:通过对准载物台侧的第一坐标取得部,取得探针卡的卡重心坐标；通过第一坐标取得部取得设于弹簧框架的基准目标的目标坐标系中的基准目标坐标；取得弹簧框架侧的第二取得部与第一取得部的对准坐标；通过第二取得部取得晶圆重心坐标；通过包括基于卡重心坐标、对准坐标和晶圆重心坐标求得的接触坐标的指令使对准器移动,从而通过第一取得部取得第一坐标取得部实际接触坐标；以及基于以基准目标坐标为基准计算的第一坐标取得部目标接触坐标与第一坐标取得部实际接触坐标的位置偏移对对准器的位置进行校正。

主权项：1.一种检查装置，其包括：对准载物台；弹簧框架，与上述对准载物台相对；基准目标，设于上述弹簧框架；第一坐标取得部，设于上述对准载物台；以及第二坐标取得部，设于上述弹簧框架，其中，上述检查装置用于执行包括如下工序的处理：卡重心坐标取得工序，其通过上述第一坐标取得部，取得保持于上述弹簧框架的探针卡在上述检查装置的XY坐标系中的坐标，作为卡重心坐标；基准目标坐标取得工序，其通过上述第一坐标取得部，取得上述第一坐标取得部的视野中心在包含上述基准目标的、与上述XY坐标系对应的目标坐标系中的坐标，作为基准目标坐标；对准坐标取得工序，其使上述第二坐标取得部与上述第一坐标取得部的位置对准，并取得上述第二坐标取得部与上述第一坐标取得部的对准位置在上述XY坐标系中的坐标，作为对准坐标；晶圆重心坐标取得工序，其通过上述第二坐标取得部，取得载置于上述对准载物台之上的晶圆在上述XY坐标系中的坐标，作为晶圆重心坐标；第一坐标取得部实际接触坐标取得工序，其使用上述卡重心坐标、上述对准坐标、以及上述晶圆重心坐标求得用于使上述晶圆接触上述探针卡的探针的接触坐标，并且通过包括上述接触坐标的指令而使对准载物台移动，从而通过上述第一坐标取得部取得上述目标坐标系中的第一坐标取得部实际接触坐标；以及接触工序，其基于以上述基准目标坐标为基准计算的第一坐标取得部目标接触坐标与上述第一坐标取得部实际接触坐标的位置偏移量，对上述对准载物台的位置进行校正，从而使上述探针与上述晶圆接触，该第一坐标取得部目标接触坐标是假定上述对准载物台通过算出的接触坐标使上述晶圆接触上述探针的情况下被识别的、与上述目标坐标系对应的第一坐标取得部的坐标。

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