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申请/专利权人：宁波合盛新材料有限公司
摘要：本申请公开了一种用于PVT炉合成碳化硅粉新热场的吸氮处理方法，处理方法包括以下步骤，预处理步骤：将吸附剂进行高温除碳，得到预处理后的吸附剂；新热场吸氮步骤：将预处理后的吸附剂置于新热场的坩埚内，升温加压并维持一段时间，冷却后取出吸附剂；合成步骤：将硅粉和石墨粉混合均匀，置于新热场的坩埚内进行碳化硅粉体的合成反应，得到块状碳化硅，将碳化硅破碎、研磨、筛分、除碳、清洗和烘干，得到碳化硅粉体，可用于碳化硅单晶生长。本申请选用的吸附剂为碳化硅，节约经济成本，且除氮效果好。
主权项：1.一种用于PVT炉合成碳化硅粉新热场的吸氮处理方法，其特征在于，包括以下步骤，预处理步骤：将吸附剂进行高温除碳，得到白色的或浅绿色预处理后的吸附剂；新热场空烧步骤：将坩埚置于新热场中，将新热场和坩埚升温加压维持一段时间，最后将坩埚和新热场冷却；所述新热场空烧步骤的升温加压包括两个阶段，第一阶段升温至1000～1200℃，第一阶段压力设置为5*10-5mbar以下，维持时间为2～5h；第二阶段将温度升高至2000～2200℃，压力维持在5*10-3mbar以下，维持时间为20～40h；新热场吸氮步骤：将预处理后的所述吸附剂置于新热场的坩埚内，升温加压并维持一段时间，冷却后取出所述吸附剂，观察所述吸附剂的颜色，若所述吸附剂呈现深绿色，多次重复所述预处理步骤和所述新热场吸氮步骤，直至所述吸附剂颜色呈现浅绿色；所述新热场吸氮步骤温度设置为2000～2200℃，压力设置在100～500mbar，保温时间为20～40h；合成步骤：将硅粉和石墨粉混合均匀，置于新热场的坩埚内进行碳化硅粉体的合成反应，得到块状碳化硅，将所述碳化硅破碎、研磨、筛分、除碳、清洗和烘干，得到所述碳化硅粉体，可用于碳化硅单晶生长；所述吸附剂为碳化硅。
全文数据：
权利要求：
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