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一种尺寸可调式的晶圆花篮 

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申请/专利权人:江苏联芯半导体科技有限公司

摘要:本实用新型涉及晶圆花篮技术领域,尤其为一种尺寸可调式的晶圆花篮,包括花篮架,所述花篮架上端固定连接有上伸缩板,所述花篮架下端固定连接有下伸缩板,所述花篮架外侧固定连接有固定板,所述固定板外侧固定连接有空心柱,所述空心柱外侧固定连接有套筒,所述套筒内侧固定连接有伸缩弹簧,所述伸缩弹簧另一端固定连接有滑筒,所述滑筒外侧固定连接有限位条,所述滑筒另一端固定连接有滑环板,所述滑环板另一端固定连接有销子,所述空心柱另一端固定连接有固定环板,本实用新型中,通过设置的螺纹杆、自锁螺母、空心柱、销子和销孔,极大程度的增加了晶圆花篮的使用范围,降低了厂商晶圆生产制造过程中的成本,增强了晶圆硅片的收集处理效率。

主权项:1.一种尺寸可调式的晶圆花篮,包括花篮架1,其特征在于:所述花篮架1上端固定连接有上伸缩板2,所述花篮架1下端固定连接有下伸缩板3,所述花篮架1外侧固定连接有固定板4,所述固定板4外侧固定连接有空心柱5,所述空心柱5外侧固定连接有套筒6,所述套筒6内侧固定连接有伸缩弹簧7,所述伸缩弹簧7另一端固定连接有滑筒8,所述滑筒8外侧固定连接有限位条9,所述滑筒8另一端固定连接有滑环板10,所述滑环板10另一端固定连接有销子11,所述空心柱5另一端固定连接有固定环板12,所述固定环板12外侧滑动连接有自锁螺母13,所述自锁螺母13内侧螺旋连接有螺纹杆14,所述自锁螺母13内侧开设有销孔15,所述套筒6内侧开设有滑槽16。

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