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申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
摘要：本申请提供一种快速修复CMP热点的冗余图形优化方法，包括：步骤一，对填充冗余图形后的原始版图数据进行金属层次的CMP模型仿真；步骤二，对仿真后的结果进行CMP热点检查；步骤三，对存在CMP热点和冗余图形的网格区域进行图形特征参数实际值的抽取；步骤四，结合CMP热点仿真结果产生指导CMP热点修复的图形特征参数目标值；步骤五，根据图形特征参数实际值与目标值的差值情况，选取最优方案对冗余图形进行优化；步骤六，将优化后的冗余图形与原始版图进行数据整合。无需进行CMP仿真的反复迭代，在达到好的热点修复效果的同时大大缩短了CMP热点修复时长。
主权项：1.一种快速修复CMP热点的冗余图形优化方法，其特征在于，所述方法包括：步骤一，对填充冗余图形后的原始版图数据进行金属层次的CMP模型仿真；步骤二，对仿真后的结果进行CMP热点检查；步骤三，对存在CMP热点和冗余图形的网格区域进行图形特征参数实际值的抽取；步骤四，结合CMP热点仿真结果产生指导CMP热点修复的图形特征参数目标值；步骤五，根据所述图形特征参数实际值与目标值的差值情况，选取最优方案对冗余图形进行优化；步骤六，将优化后的冗余图形与原始版图进行数据整合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 快速修复CMP热点的冗余图形优化方法
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