龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：浙江奥首材料科技有限公司
摘要：本发明涉及一种低金属离子残留芯片CMP后清洗剂及制备方法与应用。所述的清洗剂按照重量份计算，包括如下组分：功能剂8‑35份；螯合剂5‑15份；pH调节剂5‑20份；缓蚀剂0.1‑1份；水30‑70份。本发明采用高化学稳定性的三蝶烯对称碳架结构作为功能剂，通过功能剂和螯合剂二者组合，达到高效清洗铜晶圆片表面残留物，快速溶解金属氧化物的效果。本发明的清洗剂环保、无污染、且挥发损耗小，对环境和人体无伤害。
主权项：1.一种低金属离子残留芯片CMP后清洗剂，其特征在于，按照重量份计算，包括如下组分： 其中，所述的功能剂为三蝶烯化合物；所述的螯合剂为糖基磷酸酯化合物；所述的缓蚀剂为含杂原子的杂环类化合物。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江奥首材料科技有限公司 一种低金属离子残留芯片CMP后清洗剂及制备方法与应用
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号