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申请/专利权人：株式会社村田制作所
摘要：弹性波装置具备：支承基板，包含支承构件和设置在所述支承构件上的中间层；压电体层，设置在中间层上；以及功能电极，设置在压电体层上。压电体层具有在支承构件、中间层以及压电体层的层叠方向上贯通压电体层的贯通孔。支承基板具有：空洞部，设置于在层叠方向上与功能电极的一部分重叠的位置；以及凹部，设置于空洞部的在层叠方向上与贯通孔重叠至少一部分的位置，并向远离压电体层的方向凹陷。
主权项：1.一种弹性波装置，具备：支承基板，包含支承构件和设置在所述支承构件上的中间层；压电体层，设置在所述中间层上；以及功能电极，设置在所述压电体层上，所述压电体层具有在所述支承构件、所述中间层以及所述压电体层的层叠方向上贯通所述压电体层的贯通孔，所述支承基板具有：空洞部，设置于在所述层叠方向上与所述功能电极的一部分重叠的位置；以及凹部，设置于所述空洞部的在所述层叠方向上与所述贯通孔重叠至少一部分的位置，并向远离所述压电体层的方向凹陷。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社村田制作所 弹性波装置以及弹性波装置的制造方法
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