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申请/专利权人：苏州鸿望电子科技有限公司
摘要：本发明公开了一种半导体生产用硅晶片平洗装置，涉及半导体生产技术领域。该半导体生产用硅晶片平洗装置，包括超声波清洗箱，所述超声波清洗箱的顶部固定连接有烘干机构。该半导体生产用硅晶片平洗装置，通过烘干机构的设置，当载物盒倾斜后，硅晶片从载物盒中通过斜块滑落到槽形软板上时，启动电机二，电机二带动转轴四转动，转轴四带动齿轮二转动，齿轮二带动槽形软板在槽形滑轨内滑动，在滑动过程中，每当经过分离板时，分离板会将叠在一起的硅晶片平铺开，这样可以增大烘干的面积，使烘干速度更快，提升了装置的工作效率，同时平铺后可以使的硅晶片烘干的更加均匀，提高了装置的工作质量。
主权项：1.一种半导体生产用硅晶片平洗装置，包括超声波清洗箱（1），其特征在于：所述超声波清洗箱（1）的顶部固定连接有烘干机构（5），所述烘干机构（5）的顶部固定连接有转块一（2），所述转块一（2）的内侧转动连接有箱门（3），所述箱门（3）的顶部固定连接有把手（4），所述超声波清洗箱（1）的内部设有升降机构（7），所述升降机构（7）的内部固定连接有搅拌机构（6）；所述烘干机构（5）包括通管（501），所述通管（501）的顶部固定连接有转块三（507），所述转块三（507）的侧面固定连接有挡板（508），所述通管（501）的外侧固定连接有斜块（502），所述斜块（502）的侧面固定连接有挡块二（512），所述斜块（502）的底部设有槽形软板（503），所述槽形软板（503）的底部滑动连接有槽形滑轨（513），所述槽形滑轨（513）的底部固定连接有烘干盒（504），所述烘干盒（504）的内侧固定连接有挡块一（505），所述挡块一（505）的顶部设有烘干装置（506），所述挡块一（505）的内侧固定连接有分离板（514）。
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权利要求：
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