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申请/专利权人：广东先导微电子科技有限公司
摘要：本发明属于铪化合物领域，公开了一种四氯化铪的纯化方法，包括如下步骤：步骤1，将四氯化铪（HfCl4）粗品加入四氯硅烷（SiCl4）溶液中，加热，反应，得到溶液A；步骤2，降温溶液A，静置析出晶体，转移上清液；步骤3，抽烘晶体，即可得高纯四氯化铪，即可得高纯四氯化铪。上述纯化工艺的工序简短、操作简单可控、生产成本低、生产安全性高，使本纯化方法具备广阔的应用前景。此外，本发明还提供了由上述纯化方法制得的四氯化铪。
主权项：1.一种四氯化铪的纯化方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1，将四氯化铪（HfCl4）粗品加入四氯硅烷（SiCl4）溶液中，加热，反应，得到溶液A；步骤2，降温溶液A，静置析出晶体，转移上清液；步骤3，抽烘晶体，即可得高纯四氯化铪。
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权利要求：
百度查询： 广东先导微电子科技有限公司 一种四氯化铪及其纯化方法
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