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申请/专利权人:扬州扬杰电子科技股份有限公司
摘要:半桥整流芯片及其制备方法,涉及半导体技术领域。传统半桥器件需要将两个二极管芯片反向并联封装,封装工艺流程复杂,封装本体大,造成器件功率密度的降低和成本的增加,本案中半桥整流芯片将两个反向并联的二极管集成在一个芯片上,第一阳极到第一阴极区域的二极管垂直导电,第二阳极到第二阴极区域的二极管水平导电,有效利用了芯片的面积,使用本案中半桥整流芯片只需要封装一个芯片,封装工艺步骤和成本降低,使用本案中半桥整流芯片可以减少一半的芯片使用量,器件功率密度是传统半桥器件的2倍。
主权项:1.半桥整流芯片及其制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤S100,在衬底(1)上制备第一重掺杂P区(2);步骤S200,在第一重掺杂P区(2)制备第二轻掺杂N区(3);步骤S300,在第二轻掺杂N区(3)制备若干第二重掺杂P区(4);步骤S400,在第二轻掺杂N区(3)制备若干通过第二重掺杂P区(4)相隔的第二重掺杂N区(5);步骤S500,在衬底(1)上沉积第一隔离层(6);并在第一重掺杂P区(2)和第二重掺杂N区(5)处开窗,制备第一阳极(7)和第二阴极(9);步骤S600,在衬底(1)上沉积第二隔离层(13)并在第二重掺杂P区(4)处开窗,制备第二阳极(8);步骤S700,在衬底(1)底部制备第一阴极(10),整个器件制备完毕。
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