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申请/专利权人:苏州司南传感科技有限公司
摘要:本发明涉及一种高可靠性MEMS红外光源及其制作方法,其中MEMS红外光源包含基座、封装垫片、红外光源芯片、聚光杯和红外窗口;所述封装垫片置于基座上;所述红外光源芯片通过封装垫片支撑安装,与基座表面之间设置有间隙;所述聚光杯安装在基座上,对红外光源芯片辐射的红外光进行准直和聚焦;所述红外窗口安装在聚光杯的卡槽内;本发明通过增加垫片封装的方法,不仅减小了红外光源芯片传递至基座的热量损失,降低了MEMS红外光源的功耗,且垫片封装使得红外光源辐射区域下方空气与外界连通,极大地减小了MEMS红外光源工作时支撑薄膜的振动幅度,从而提高了MEMS红外光源的长期可靠性。
主权项:1.一种高可靠性MEMS红外光源,其特征在于:包含基座、封装垫片、红外光源芯片、聚光杯和红外窗口;所述封装垫片置于基座上;所述红外光源芯片通过封装垫片支撑安装,与基座表面之间设置有间隙;所述聚光杯安装在基座上,对红外光源芯片辐射的红外光进行准直和聚焦;所述红外窗口安装在聚光杯的卡槽内。
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权利要求:
百度查询: 苏州司南传感科技有限公司 一种高可靠性MEMS红外光源及其制作方法
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