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申请/专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司
摘要：本说明书实施例提供了一种多模MEMS麦克风芯片、模块及电子设备。该多模MEMS麦克风芯片包括：衬底，具有声孔；振膜，被布置成与声孔相对应；背极板，被布置成与振膜相对应；以及支撑部件，其中，背极板和支撑部件被直接或间接地附着到衬底；其中，在没有给振膜施加用于MEMS麦克风的偏压的状态下，振膜是应力自由的；其中，支撑部件被提供有控制电极；其中，在第一模式下，给振膜施加偏压并且控制电极处于第一状态，从而使得振膜被简支在支撑部件上；其中，在第二模式下，给振膜施加偏压并且控制电极处于第二状态，从而使得振膜被固支在支撑部件上。
主权项：1.一种多模MEMS麦克风芯片，包括：衬底，具有声孔；振膜，被布置成与声孔相对应；背极板，被布置成与振膜相对应；以及支撑部件，其中，背极板和支撑部件被直接或间接地附着到衬底；其中，在没有给振膜施加用于MEMS麦克风的偏压的状态下，振膜是应力自由的；其中，支撑部件被提供有控制电极；其中，在第一模式下，给振膜施加偏压并且控制电极处于第一状态，从而使得振膜被简支在支撑部件上；其中，在第二模式下，给振膜施加偏压并且控制电极处于第二状态，从而使得振膜被固支在支撑部件上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 潍坊歌尔微电子有限公司 多模MEMS麦克风芯片、模块及电子设备
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