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申请/专利权人：中国科学院声学研究所
摘要：本申请属于传感技术领域，具体涉及一种MEMS深海水听器。包括透声胶囊、平压板、平压孔、注油孔针、底座、水密插头、引线、凹槽、MEMS水听器芯片、填充液体、支撑结构。外界声波信号透过透声胶囊和填充液体，传到MEMS水听器芯片，由于压电、压阻或者静电效应，声信号转变为电信号，并利用信号提取电路将电信号通过引线传输到水密插头。本申请的优势在于：本申请通过封装结构设计，使MEMS水听器芯片振膜正反面压力平衡，提高了所述MEMS深海水听器的耐静水压能力和工作深度。
主权项：1.一种MEMS深海水听器，其特征在于，所述水听器包括：透声胶囊1、平压板2、平压孔3、底座5、水密插头6、引线、MEMS水听器芯片10和填充液体11；所述透声胶囊1为采用透声材料制成的外壳，与所述底座5一起形成一个密封空间，所述密封空间中充满填充液体11；所述平压板2为平板状结构，位于所述透声胶囊1内部中间位置，与所述透声胶囊1固定连接；所述平压板2上具有若干贯穿平压板2的平压孔3；所述MEMS水听器芯片10固定在平压板2上，通过引线与穿过底座5的水密插头6电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院声学研究所 一种MEMS深海水听器
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