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申请/专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要：本发明提供一种高效截断碳板的截断方法，涉及碳板截断技术领域，将圆柱形工件与树脂板进行粘接，组成承载工装；将碳板可拆卸固定在树脂板上，组成待切割工件，将待切割工件放置在截断机的V形槽上，且圆柱形工件与截断机的V形槽接触，将截断机压紧装置压合在碳板的上表面；将切割头的头升降轴下降使得锯带与碳板为预定距离，打开切削水，驱动主轴匀速旋转，再将切割头的头升降轴下降使得锯带切割碳板；碳板切割完成，关闭截断机；通过使用晶棒的截断机对碳板进行截断，提高截断效率，减少碳板崩边、破裂的概率，且截断机的切割头的头升降轴进行垂直升降，使得碳板的截断端面平整，误差小，不会对工作人员造成不适。
主权项：1.一种高效截断碳板的截断方法，其特征在于：包括如下步骤，S1：将圆柱形工件与树脂板进行粘接，组成承载工装；S2：碳板的一端与树脂板的切割端平齐，然后将碳板可拆卸固定在树脂板上，组成待切割工件，将待切割工件放置在截断机的V形槽上，且圆柱形工件与截断机的V形槽接触，将V形槽移动至截断位置，将截断机压紧装置压合在碳板的上表面；S3：将切割头的头升降轴下降使得锯带与碳板为预定距离，打开切削水，驱动主轴匀速旋转，再将切割头的头升降轴下降使得锯带切割碳板；所述锯带与碳板的预定距离为4-6mm，保证主轴匀速转动且触碰不到碳板；所述切削水为自来水，所述切削水的流量为2-2.5Lmin，保证切削水的流量稳定；所述切割头的头升降轴下降为匀速下降，且匀速下降的速度为8-12mmmin，所述主轴匀速旋转的速度为：395-405rmin；以减少崩边、破裂的概率；S4：碳板切割完成，关闭截断机。
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权利要求：
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