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申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要：一种方法，用于调整光刻设备100A、100B的第一元件202朝向该光刻设备100A、100B的第二元件204，该方法通过布置在第一元件202以及第二元件204之间的可调节间隔件300进行调整，该方法包括以下步骤：a确定S1第一元件202的实际定位IL，b确定S2第一元件202的标称定位SL，c卸载S3可调节间隔件300，d调整S4可调节间隔件300的高度h，以带动第一元件202从实际定位IL进入标称定位SL，以及e加载S5可调节间隔件300。
主权项：1.一种用于将光刻设备100A、100B的第一元件202朝向该光刻设备100A、100B的第二元件204调整的方法，该方法通过布置在该第一元件202以及该第二元件204之间的可调节间隔件300进行调整，所述可调节间隔件300包括具有倾斜滑动表面308、312的外壳元件302、304和具有倾斜滑动表面318、320的位移元件316，该方法包括以下步骤：a确定S1该第一元件202的实际定位IL，b确定S2该第一元件202的标称定位SL，c卸载S3该可调节间隔件300，d调整S4该可调节间隔件300的高度h，以带动该第一元件202从该实际定位IL进入该标称定位SL，在步骤d中，该位移元件316的倾斜滑动表面318、320在该外壳元件302、304的倾斜滑动表面308、312上滑动，以及e加载S5该可调节间隔件300。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司SMT有限责任公司 将光刻设备的第一元件朝向第二元件调整的方法
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