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申请/专利权人:深圳瑞纳电子技术发展有限公司
摘要:本发明提供了一种MEMS微制动器及其制造方法,包括沿着单向轴X方向构制的固定基块和可平移基块,两者之间通过至少一个沿X轴向具有弹力的弹性连接件相连接,弹性金属导线连接在固定基块和可平移基块之间,对可平移基块产生一沿X轴向的拉力。本发明提供的MEMS微制动器,大幅降低了制造成本,并且具有更高的抗冲击能力。
主权项:1.一种MEMS微制动器,其特征在于,包括沿着单向轴X方向构制的固定基块和可平移基块,两者之间通过至少一个沿X轴向具有弹力的弹性连接件相连接;弹性金属导线,连接在固定基块和可平移基块之间,对可平移基块产生一沿X轴向的拉力。
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权利要求:
百度查询: 深圳瑞纳电子技术发展有限公司 MEMS微制动器及其制造方法
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