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申请/专利权人：江苏艾森半导体材料股份有限公司;艾森半导体材料(南通)有限公司
摘要：本发明公开了显影液、制备方法及应用，其中显影液原料组成包括，wt％：0.5％四甲基氢氧化铵；1％‑10％缓蚀剂；1％‑10％稳定剂；余量为水。本发明的显影液中四甲基氢氧化铵的含量仅为0.5％，对铝的腐蚀速率＜50Amin，且显影液的使用寿命期限至少可达七天。
主权项：1.一种显影液，其原料组成包括，wt％：0.5％四甲基氢氧化铵；1％-10％缓蚀剂；1％-10％稳定剂；余量为水。
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