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具有着接焊盘结构的半导体器件 

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申请/专利权人:三星电子株式会社

摘要:一种半导体器件包括:衬底,包括有源区域;单元栅极结构,设置在衬底中,与有源区域交叉,并且在第一水平方向上延伸;位线结构,与单元栅极结构交叉,并且在与第一水平方向交叉的第二水平方向上延伸;接触插塞,设置在位线结构之间;着接焊盘结构,设置在接触插塞上,并且包括下着接焊盘和在下着接焊盘上的上着接焊盘,其中,上着接焊盘包括空腔;导电图案,设置在上着接焊盘的空腔中;以及绝缘图案结构,与位线结构之一接触并且与着接焊盘结构接触。

主权项:1.一种半导体器件,包括:衬底,包括有源区域;单元栅极结构,设置在所述衬底中,与所述有源区域交叉,并且在第一水平方向上延伸;位线结构,与所述单元栅极结构交叉,并且在与所述第一水平方向交叉的第二水平方向上延伸;接触插塞,设置在所述位线结构之间;着接焊盘结构,设置在所述接触插塞上,并且包括下着接焊盘和在所述下着接焊盘上的上着接焊盘,所述上着接焊盘包括空腔;导电图案,设置在所述上着接焊盘的所述空腔中;以及绝缘图案结构,与所述位线结构之一接触并且与所述着接焊盘结构接触。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 三星电子株式会社 具有着接焊盘结构的半导体器件

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