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基于图像分析的氧化镓晶体生产质量调控系统及方法 

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申请/专利权人:青岛华芯晶电科技有限公司

摘要:本发明公开了基于图像分析的氧化镓晶体生产质量调控系统及方法,属于图像分析领域,本发明将得到的生长异常分析结果和切割机运行分析结果导入氧化镓切割速度分析策略中进行氧化镓切割速度分析,控制切割模组根据实时分析得到的切割速度进行氧化镓晶体对应位置的切割,对氧化镓生长图像进行分析,进而对氧化镓晶体质量进行准确的生长评估,同时对切割机运行数据进行分析得到切割机运行分析结果,综合氧化镓晶体质量分析结果和切割机运行分析结果对氧化镓切割速度进行准确预估,保证了切割速度的同时避免了切割速度不匹配导致的氧化镓晶体损伤,提高了切割过程中的质量和安全性。

主权项:1.基于图像分析的氧化镓晶体生产质量调控方法,其特征在于,其包括以下具体步骤:获取氧化镓生长图像数据,将生长图像数据导入图像特征提取策略中进行图像特征的提取;将提取的图像特征导入图像评估策略中进行生长图像的评估,得到图像评估结果;获取切割机运行数据导入切割机运行分析策略中进行切割机运行分析,得到切割机运行分析结果;将得到的生长异常分析结果和切割机运行分析结果导入氧化镓切割速度分析策略中进行氧化镓切割速度分析;控制切割模组根据实时分析得到的切割速度进行氧化镓晶体对应位置的切割。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 青岛华芯晶电科技有限公司 基于图像分析的氧化镓晶体生产质量调控系统及方法

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