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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本发明提供一种电极引入装置和半导体加工设备，包括第一电极组件和第二电极组件，二者均包括导电支撑件和电极连接件，其中，导电支撑件用于可相对转动的套设于半导体加工设备的工艺腔体内的用于承载载片舟的支撑柱上，且具有用于支撑并电接触载片舟对应的舟脚的支撑面；在载片舟对应的舟脚置于支撑面时，导电支撑件能够自适应性地转动，以使支撑面与舟脚相贴合；电极连接件设置于工艺腔体中，且电极连接件的一端用于与射频电源的正极或负极电连接，电极连接件的另一端与导电支撑件电导通，且接触配合，用以将导电支撑件限制在预设角度范围内。本方案可以解决因电极块产生角度偏转而引起的在电极块与舟脚的接触位置存在间隙的问题。
主权项：1.一种电极引入装置，应用于半导体加工设备，其特征在于，包括第一电极组件和第二电极组件；所述第一电极组件和第二电极组件均包括导电支撑件和电极连接件，其中，所述导电支撑件用于可相对转动的套设于所述半导体加工设备的工艺腔体内的用于承载载片舟的支撑柱上，且具有用于支撑并电接触所述载片舟对应的舟脚的支撑面；在所述载片舟对应的所述舟脚置于所述支撑面时，所述导电支撑件能够自适应性地转动，以使所述支撑面与所述舟脚相贴合；所述电极连接件设置于所述工艺腔体中，且所述电极连接件的一端用于与射频电源的正极或负极电连接，所述电极连接件的另一端与所述导电支撑件电导通，且接触配合，用以将所述导电支撑件限制在预设角度范围内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 电极引入装置和半导体加工设备
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