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申请/专利权人：康宁股份有限公司
摘要：表征玻璃基样品的光学阻滞或应力相关性质的方法包括：将光束112引导到玻璃基样品10中，同时改变光束的偏振以生成针对每个偏振的散射光112S。用图像传感器114捕获针对每个偏振的散射光，图像传感器114具有曝光时间和帧率。散射光具有在图像传感器处的强度分布。样品被移动，使得图像传感器对每帧的两个或更多个不同强度分布求平均，以形成针对每个偏振的平均强度分布。随后将多个帧的平均强度分布用于表征光学阻滞。光学阻滞可用于确定玻璃基样品的应力相关性质。移动基板减小了由于没有光学阻滞信息的散射光而引起的测量噪声。
主权项：1.一种使用光散射偏振测定来表征玻璃基样品的光学阻滞的方法，包括以下动作：a将光束从光源引导到所述玻璃基样品中，同时在至少第一偏振状态与第二偏振状态之间改变所述光束的偏振，以生成针对每个偏振状态的散射光；b针对所述至少第一偏振状态和第二偏振状态中的每一者，使用具有曝光时间tE并且以帧率FR捕获帧的图像传感器来捕获所述散射光，其中所述散射光具有在所述图像传感器处的强度分布；c相对于所述光束和所述图像传感器中的至少一者以样品速度SS移动所述样品，使得对于所述至少第一偏振状态和第二偏振状态中的每一者，所述图像传感器对每帧的所述强度分布中的两个或更多个强度分布求平均以形成平均强度分布；以及d使用针对至少第一偏振状态和第二偏振状态中的每一者的所述平均强度分布来表征所述光学阻滞。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 康宁股份有限公司 使用光散射偏振测定来表征玻璃基样品的光学阻滞
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