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申请/专利权人：烟台艾睿光电科技有限公司
摘要：本申请公开了一种谐振式MEMS激光雷达，包括外壳、多个激光收发组件、多个反射镜组件以及振镜组件。外壳具有相对的外壳前端和外壳后端，外壳前端设有允许激光通过的视窗。激光收发组件固定在外壳内并位于外壳后端。反射镜组件固定在外壳内并位于外壳前端，每个反射镜组件与其中一个激光收发组件对应。振镜组件固定在外壳内并位于多个激光收发组件和多个反射镜组件之间。振镜组件包括MEMS振镜，MEMS振镜具有相反的第一振镜反射面和第二振镜反射面，第一振镜反射面朝向外壳前端，第二振镜反射面朝向外壳后端。振镜组件在第二振镜反射面这一侧设有一收容空间，收容空间内收容一谐振角度光学检测组件，用于实时检测MEMS振镜的摆动角度。
主权项：1.一种谐振式MEMS激光雷达，其特征在于，包括：外壳100，所述外壳100具有相对的外壳前端102和外壳后端104，所述外壳前端102设有允许激光通过的视窗106；多个激光收发组件200，固定在所述外壳100内并位于所述外壳后端104；多个反射镜组件300，固定在所述外壳100内并位于所述外壳前端102，每个反射镜组件300与其中一个激光收发组件200对应；以及振镜组件400，固定在所述外壳100内并位于多个所述激光收发组件200和多个所述反射镜组件300之间，所述振镜组件400包括MEMS振镜402，所述MEMS振镜402具有相反的第一振镜反射面404和第二振镜反射面406，所述第一振镜反射面404朝向所述外壳前端102，所述第二振镜反射面406朝向所述外壳后端104，所述振镜组件400在所述第二振镜反射面406这一侧设有一收容空间408，所述收容空间408内收容一谐振角度光学检测组件410、500，用于实时检测所述MEMS振镜402的摆动角度；其中，每个激光收发组件200用于发射激光束至对应的反射镜组件300，所述反射镜组件300相对于所述激光收发组件200和所述MEMS振镜402的第一振镜反射面404设置以实现激光在所述激光收发组件200和所述MEMS振镜402的第一振镜反射面404之间的转向传播。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 烟台艾睿光电科技有限公司 谐振式MEMS激光雷达
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