龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江西兆驰半导体有限公司
摘要：本实用新型提供一种曝光装置，属于曝光技术领域，曝光装置包括曝光组件、用于发射光源的发光件、以及多个支撑架，支撑架用于支撑晶圆，曝光组件包括分光件和多个反射镜，分光件位于发光件的发射范围之内，且分光件上的多个分光部分别朝向发光件的发射范围之外，通过多个分光部将发光件发射的光源进行多个方向的反射，以使自发光件发射的光源切分成多个子光源，其中，每个子光源的反射方向均设有一反射镜，通过该设置，可以实现一个发光件可以对多个晶圆进行曝光处理，从而解决了现有技术中存在操作繁琐，产出效率低的问题。
主权项：1.一种曝光装置，用于对晶圆进行曝光，其特征在于，所述曝光装置包括曝光组件、用于发射光源的发光件、以及多个支撑架，所述支撑架用于支撑所述晶圆；所述曝光组件包括分光件和多个反射镜，所述分光件位于所述发光件的发射范围之内，且所述分光件上的多个分光部分别朝向所述发光件的发射范围之外，通过多个所述分光部将所述发光件发射的光源进行多个方向的反射，以使自所述发光件发射的光源切分成多个子光源；其中，每个所述子光源的反射方向均设有一所述反射镜，通过多个所述反射镜将多个所述子光源进行再次反射，使得每个所述子光源分别对应所述支撑架上的晶圆，以通过多个所述子光源对多个所述晶圆进行曝光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江西兆驰半导体有限公司 一种曝光装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号