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申请/专利权人：ASMIP私人控股有限公司
摘要：本发明涉及具有受控环境的衬底处理系统，包括：一个或多个FOUP，配置成保持一个或多个衬底；衬底处理室，配置成处理一个或多个衬底；衬底搬运和运输系统，配置成接收一个或多个FOUP并将一个或多个衬底转移到衬底处理室和从衬底处理室转移一个或多个衬底；环境传感器装置，配置成测量衬底搬运和运输系统的一个或多个环境参数；以及控制器，其通信耦合到环境传感器装置，配置成：跟踪衬底搬运和运输系统内的一个或多个衬底的一个或多个位置，确定衬底搬运和运输系统的一个或多个环境参数，确定一个或多个环境参数在一个或多个衬底的一个或多个位置处是否在阈值极限内，并且如果确定一个或多个环境参数不在阈值极限内，则指示警报。
主权项：1.一种具有受控环境的衬底处理系统，包括：-一个或多个FOUP，其配置成保持一个或多个衬底；-衬底处理室，其配置成处理一个或多个衬底；-衬底搬运和运输系统，其配置成接收一个或多个FOUP并将一个或多个衬底转移到衬底处理室和从衬底处理室转移一个或多个衬底；-环境传感器装置，其配置成测量衬底搬运和运输系统的一个或多个环境参数；以及-控制器，其通信耦合到环境传感器装置，该控制器配置成：-跟踪衬底搬运和运输系统内的一个或多个衬底的一个或多个位置，-确定衬底搬运和运输系统的一个或多个环境参数，-确定一个或多个环境参数在一个或多个衬底的一个或多个位置处是否在阈值极限内，并且-如果确定一个或多个环境参数不在阈值极限内，则指示警报。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASMIP私人控股有限公司 用于监控衬底处理系统中的受控环境的系统和方法
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