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申请/专利权人：厦门蚨祺自动化设备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种夹持式晶圆预定位装置，属于晶圆预定位技术领域，包括机体，所述机体上设置有平台、旋转机构以及夹持机构；所述平台用于放置晶圆；所述旋转机构设置于所述平台下方，所述夹持机构与所述旋转机构连接，所述旋转机构控制所述夹持机构旋转；所述机体上还设置有用于对所述晶圆进行检测的感应组件；所述夹持机构包括动力组件以及至少两个夹持臂，所述夹持臂设置在所述平台的两侧上，所述夹持臂与所述动力组件连接，使得所述动力组件控制所述夹持臂往所述平台的内侧靠近或者远离，以夹紧或者松开所述晶圆，对晶圆的进行检测旋转以便于预定位进入下一步工序。
主权项：1.一种夹持式晶圆预定位装置，其特征在于：包括机体1，所述机体1上设置有平台3、旋转机构4以及夹持机构5；所述平台3用于放置晶圆2；所述旋转机构4设置于所述平台3下方，所述夹持机构5与所述旋转机构4连接，所述旋转机构4控制所述夹持机构5旋转；所述机体1上还设置有用于对所述晶圆2进行检测的感应组件6；所述夹持机构5包括动力组件以及至少两个夹持臂501，所述夹持臂501设置在所述平台3的两侧上，所述夹持臂501与所述动力组件连接，使得所述动力组件控制所述夹持臂501往所述平台3的内侧靠近或者远离，以夹紧或者松开所述晶圆2。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 厦门蚨祺自动化设备有限公司 一种夹持式晶圆预定位装置
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