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申请/专利权人：湖北锦瓷新材料科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种碳化硅外延设备的CVD反应模块，包括反应箱，所述反应箱的内部设置有放置盘，通过所述放置盘用于放置晶元，所述反应箱的上端面设置有进气管，所述反应箱的右侧面设置有冷风机，所述冷风机的输出端固定安装有导流管，所述导流管上设置有排风管，所述排风管的出口延伸至反应箱的内部，所述反应箱上设置有排放管。本实用新型在使用的过程中，通过在CVD反应箱上设置冷风机，利用冷风机将冷气通入到反应箱中，通过冷气对工件冷却，提高工件冷却的效率，并且吹出的冷气带动废气通过排放管快速地排出反应箱外，通过在排放管的尾部设置废气处理组件，从而有效地去除废气中的有害物质，避免CVD反应箱排放的废气造成空气污染。
主权项：1.一种碳化硅外延设备的CVD反应模块，包括反应箱1，其特征在于：所述反应箱1的内部设置有放置盘2，通过所述放置盘2用于放置晶元，所述反应箱1的上端面设置有进气管3；所述反应箱1的右侧面设置有冷风机4，所述冷风机4的输出端固定安装有导流管5，所述导流管5上设置有排风管6，所述排风管6的出口延伸至反应箱1的内部，反应箱1上设置有排放管7，通过冷风的通入便于工件的冷却，同时加快反应箱1内废气的排放；所述排放管7远离反应箱1的一端设置有废气处理组件，通过所述废气处理组件便于将废气中的有害物质清理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北锦瓷新材料科技有限公司 一种碳化硅外延设备的CVD反应模块
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