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申请/专利权人：罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
摘要：本申请涉及具有端点检测窗口的抛光垫，其包括：具有顶部抛光表面并且包括抛光材料的抛光层，包括子垫材料的子垫层，其中所述子垫层位于所述顶部抛光表面的对面，所述子垫层具有限定所述垫的底部表面的底部子垫表面，以及窗口，所述窗口贯穿所述抛光垫用于将信号波透过所述抛光垫传输，其中所述窗口具有顶部部分和底部部分，所述顶部部分与所述抛光层形成密封，所述顶部部分包括第一窗口材料，所述底部部分从与所述窗口的所述顶部部分的界面延伸到所述垫的所述底部表面并且包括弹性体材料，其中在所述底部部分的侧边缘与所述子垫材料之间存在间隙。还涉及一种使用所述抛光垫抛光的方法。该抛光垫改善了端点检测。
主权项：1.一种用于化学机械抛光的抛光垫，其包括：具有顶部抛光表面并且包括抛光材料的抛光层，包括子垫材料的子垫层，其中所述子垫层位于所述顶部抛光表面的对面，所述子垫层具有限定所述垫的底部表面的底部子垫表面，以及窗口，所述窗口贯穿所述抛光垫用于将信号波透过所述抛光垫传输，其中所述窗口具有顶部部分和底部部分，所述顶部部分与所述抛光层形成密封，所述顶部部分包括第一窗口材料，所述底部部分从与所述窗口的所述顶部部分的界面延伸到所述垫的所述底部表面并且包括弹性体材料，其中在所述底部部分的侧边缘与所述子垫材料之间存在间隙。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 具有端点检测窗口的抛光垫
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