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申请/专利权人：山东大学
摘要：本发明公开了一种多晶金刚石用抛光液及抛光方法，属于金刚石抛光技术领域。本发明提供的多晶金刚石用抛光液包括金刚石微粉、高锰酸钾和水，所述金刚石微粉、高锰酸钾和水的质量比为0.5~2:3~10:100，所述多晶金刚石用抛光液采用稀硫酸调节pH至2~5。本发明首先利用大粒径的金刚石微粉和水混合配制研磨液对待加工多晶金刚石样品进行研磨，然后采用上述抛光液对研磨后的多晶金刚石样品进行抛光。采用本发明的抛光液与抛光方法能够实现多晶金刚石表面的高效抛光，且获得的金刚石膜表面超光滑，结构无损伤，表面粗糙度可低至1nm以下，能够满足制造超硬切削工具、半导体、红外光学窗、高性能散热器等领域的基本要求，具有广阔的应用前景。
主权项：1.一种多晶金刚石用抛光液，其特征在于，包括金刚石微粉、高锰酸钾和水，所述金刚石微粉、高锰酸钾和水的质量比为0.5~2:3~10:100，所述多晶金刚石用抛光液采用稀硫酸调节pH至2~5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东大学 一种多晶金刚石用抛光液及抛光方法
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