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申请/专利权人：南京晶升装备股份有限公司
摘要：本发明公开了一种碳化硅外延生长设备，包括反应腔体、与反应腔体连通的进气端及排气端，所述反应腔体内设有加热线圈及晶圆托盘，所述反应腔体顶端铰接有上盖板，所述上盖板为翻盖式，上盖板靠近反应腔体的一面上设有石墨盖板，所述石墨盖板上设有若干进气孔和若干出气孔，所述进气孔与外部连通，进气孔还与出气孔连通，所述出气孔设置于石墨盖板靠近反应腔体的一面上。本发明设置新的反应腔体及上盖板结构，在进行维护时，打开上盖板并去除热场即可，无需分离其他设备，维护操作更加简便，效率更高；通过石墨盖板上的多孔设计，减少了石墨盖板及上盖板表面的沉积物质，延长维护周期。
主权项：1.一种碳化硅外延生长设备，其特征在于，包括反应腔体1、与反应腔体1连通的进气端2及排气端3，所述反应腔体1内设有加热线圈11及晶圆托盘12，所述反应腔体1顶端铰接有上盖板4，所述上盖板4为翻盖式，上盖板4靠近反应腔体1的一面上设有石墨盖板5，所述石墨盖板5上设有若干进气孔51和若干出气孔52，所述进气孔51与外部连通，进气孔51还与出气孔52连通，所述出气孔52设置于石墨盖板5靠近反应腔体1的一面上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京晶升装备股份有限公司 一种碳化硅外延生长设备
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