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申请/专利权人：复旦大学
摘要：本申请公开一种基于激光解键合的铌酸锂薄膜SAW器件制备方法。该方法包括以下步骤：对LiNbO3晶圆进行He+离子注入，在晶圆内形成多孔气泡层，将晶圆分隔为上层LiNbO3薄膜和下层LiNbO3晶圆；将LiNbO3晶圆与支撑衬底键合；进行热退火处理，使得多孔气泡层从LiNbO3晶圆剥离，从而在支撑衬底上形成LiNbO3薄膜；对LiNbO3薄膜进行减薄处理；进行热退火处理，将形成有SiO2薄膜的Si衬底与上述形成在支撑衬底表面的LiNbO3薄膜直接键合，并退火形成稳定的键合对；使用激光进行解键合，使LiNbO3薄膜转移到Si衬底上；在LiNbO3薄膜表面形成叉指换能器。
主权项：1.一种基于激光解键合的铌酸锂薄膜SAW器件制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在LiNbO3晶圆内形成多孔气泡层，将晶圆分隔为上层LiNbO3薄膜和下层LiNbO3晶圆；将LiNbO3晶圆与支撑衬底键合；进行热退火处理，使得多孔气泡层从LiNbO3晶圆剥离，从而在支撑衬底上形成LiNbO3薄膜；对LiNbO3薄膜进行减薄处理；进行热退火处理，将形成有SiO2薄膜的Si衬底与上述形成在支撑衬底表面的LiNbO3薄膜直接键合，并退火形成稳定的键合对；使用激光进行解键合，使LiNbO3薄膜转移到Si衬底上；在LiNbO3薄膜表面形成叉指换能器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 复旦大学 一种基于激光解键合的铌酸锂薄膜SAW器件制备方法
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