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申请/专利权人:安徽丰芯半导体有限公司
摘要:本实用新型涉及芯片封装单元摆盘装置,涉及半导体封装技术领域,包括用于对覆膜进行吸附的第二吸附设备,第二吸附设备的中间开设有用于实现水针穿过的纵向槽,水针由水压控制系统控制水压。本申请在使用时,通过将第二吸附设备中间的顶针替换成水针的操作,由于水针是由水压控制系统进行控制的,所以水针的压力是可以根据需要进行调整的,在使用时,当水针作用在芯片的覆膜位置上,通过水针的冲力对覆膜进行作用,随后在第二吸附设备和第一吸嘴的作用下,使得芯片和覆膜进行分离,解决现有技术中由于金属顶针的应力较大,容易对芯片造成损伤的问题。
主权项:1.芯片封装单元摆盘装置,包括用于对覆膜3进行吸附的第二吸附设备4,其特征在于:所述第二吸附设备4的中间开设有用于实现水针5穿过的纵向槽,所述水针5由水压控制系统控制水压。
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