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薄膜晶体管及制备方法、阵列基板、显示面板、显示装置 

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申请/专利权人:合肥维信诺科技有限公司

摘要:本申请提供一种薄膜晶体管及制备方法、阵列基板、显示面板、显示装置,其薄膜晶体管,包括:基板;半导体层,半导体层设置于基板的一侧;栅绝缘层,栅绝缘层设置于半导体层远离基板的一侧;栅极层,栅极层包括第一栅金属层和第二栅金属层,第一栅金属层设置于栅绝缘层远离基板的一侧,第二栅金属层设置于第一栅金属层远离基板的一侧;其中,第一栅金属层在基板上的正投影与第二栅金属层在基板上的正投影部分重叠。本申请提供的薄膜晶体管,在对半导体层进行掺杂时,有利于降低半导体层内对应非重叠区域的掺杂离子的浓度,从而在半导体层构建一个渐变的浓度梯度,有利于降低器件漏电流,提高器件的耐压性能和可靠性。

主权项:1.一种薄膜晶体管,其特征在于,包括:基板;半导体层,所述半导体层设置于所述基板的一侧;栅绝缘层,所述栅绝缘层设置于所述半导体层远离所述基板的一侧;栅极层,所述栅极层包括第一栅金属层和第二栅金属层,所述第一栅金属层设置于所述栅绝缘层远离所述基板的一侧,所述第二栅金属层设置于所述第一栅金属层远离所述基板的一侧;其中,所述第一栅金属层在所述基板上的正投影与所述第二栅金属层在所述基板上的正投影部分重叠。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 合肥维信诺科技有限公司 薄膜晶体管及制备方法、阵列基板、显示面板、显示装置

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