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申请/专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
摘要：本发明提供了一种基板加热装置，包括加热组件和接线组件；所述加热组件包括加热基板，所述加热基板内置有加热元件；所述接线组件包括第一接线件和第二接线件，且所述第一接线件与所述第二接线件均为导电材料制成；所述第一接线件与所述加热元件连接，所述第二接线件与电源件连接，所述第一接线件可拆卸固定于所述第二接线件，所述加热元件与所述电源件通过所述第一接线件与所述第二接线件固定而实现电导通。使得基板加热装置实现了快速接线，随插随用，省时省力，使得无论是基板加热装置的使用、更换和维修都变得更加方便快捷；且提高了基板加热装置运输过程中的安全性。
主权项：1.一种基板加热装置，其特征在于，包括加热组件和接线组件；所述加热组件包括加热基板，所述加热基板内置有加热元件；所述接线组件包括第一接线件和第二接线件，且所述第一接线件与所述第二接线件均为导电材料制成；所述第一接线件与所述加热元件连接，所述第二接线件与电源件连接，所述第一接线件可拆卸固定于所述第二接线件，所述加热元件与所述电源件通过所述第一接线件与所述第二接线件固定而实现电导通。
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权利要求：
百度查询： 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 基板加热装置
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