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申请/专利权人：川崎重工业株式会社
摘要：在基板搬运机器人100中，腕关节JT3具有将使第1基板保持机械手21转动的第1转动轴41支承为能够转动的第1轴承42、和将使第2基板保持机械手22转动的第2转动轴43支承为能够转动的第2轴承44。第1轴承和第2轴承是球轴承。
主权项：1.一种基板搬运机器人，其中，所述基板搬运机器人具备：水平多关节型的机器人臂；和基板保持机械手，配置于所述机器人臂的末端，所述基板保持机械手包括第1基板保持机械手、和配置于所述第1基板保持机械手的上方并与所述第1基板保持机械手独立地进行动作的第2基板保持机械手，所述机器人臂包括用于驱动所述第1基板保持机械手和所述第2基板保持机械手的腕关节，所述腕关节具有将使所述第1基板保持机械手转动的第1转动轴支承为能够转动的第1轴承、和将使所述第2基板保持机械手转动的第2转动轴支承为能够转动的第2轴承，所述第1轴承和所述第2轴承是球轴承。
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