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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明的目的在于提供一种能够合适地搬运基板的基板处理装置。基板处理装置1具有容纳架载置部3、搬运机构4、控制部9。容纳架载置部载置容纳架C。容纳架具有在上下方向Z上排列的多个搁板22。搁板分别以水平姿势载置一张基板W。搬运机构向载置于容纳架载置部的容纳架C搬运基板。控制部9控制搬运机构4。搬运机构4具有手部33和手部驱动部34。手部支撑基板。手部驱动部34使手部33移动。控制部9根据搬运机构从搁板取下的基板或搬运机构4放置于搁板的基板的形状，改变向沿上下方向Z相邻的两个搁板22之间插入手部33时的手部的高度位置HA。
主权项：1.一种基板处理装置，其中，具有：容纳架载置部，载置容纳架；搬运机构，向载置于所述容纳架载置部的容纳架搬运基板；以及控制部，控制所述搬运机构，所述容纳架具有在上下方向上排列的多个搁板，所述搁板分别以水平姿势载置一张基板，所述搬运机构具有支撑基板的手部、以及使所述手部移动的手部驱动部，所述控制部根据所述搬运机构从所述搁板取下的基板的形状以及所述搬运机构放置于所述搁板的基板的形状中的至少任一个，改变向沿上下方向相邻的两个所述搁板之间插入所述手部时的所述手部的高度位置，基板包括：第一基板，具有通过使位于基板的周缘部的内侧的基板的主部比基板的所述周缘部凹陷而形成的凹部，并且不具有玻璃制的保护板；以及第二基板，不具有所述凹部，在所述搬运机构从所述搁板取下的基板或所述搬运机构放置于所述搁板的基板为所述第一基板时，所述手部以第一高度位置进入沿上下方向相邻的两个所述搁板之间，在所述搬运机构从所述搁板取下的基板或所述搬运机构放置于所述搁板的基板为第二基板时，所述手部以比所述第一高度位置高的第二高度位置进入沿上下方向相邻的两个所述搁板之间。
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