首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

一种发光二极管芯片制备方法及发光二极管芯片 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:江西兆驰半导体有限公司

摘要:本发明涉及半导体器件技术领域,尤其涉及一种发光二极管芯片制备方法及发光二极管芯片,制备方法包括以下步骤:提供一衬底,在衬底上沉积外延层;在外延层上沉积ITO层,对ITO层进行粗化处理;对局部的ITO层进行刻蚀,直至暴露出n型GaN层,从而形成n型GaN台阶;在ITO层上旋涂AgNWs‑PSSNa前驱体溶液,从而形成规则网状结构的AgNWs薄膜,ITO层与AgNWs薄膜组成复合导电层;在n型GaN台阶上沉积n型电极,在复合导电层上沉积p型电极;在氮气环境中进行退火,得到发光二极管芯片。本发明能够提高复合导电层的电子传输以及注入效率,与传统ITO层相比,复合导电层在等同厚度下具有更低的电阻。

主权项:1.一种发光二极管芯片制备方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一衬底,在所述衬底上沉积外延层,其中,所述外延层自下而上依次包括缓冲层、n型GaN层、有源层及p型GaN层;在所述外延层上沉积ITO层,对所述ITO层进行粗化处理;对局部的所述ITO层进行刻蚀处理,直至暴露出所述n型GaN层,从而形成n型GaN台阶;在所述ITO层上旋涂AgNWs-PSSNa前驱体溶液,从而形成规则网状结构的AgNWs薄膜,所述ITO层与所述AgNWs薄膜组成复合导电层;其中,所述AgNWs-PSSNa前驱体溶液由AgNWs液态分散体掺杂聚苯乙烯磺酸钠溶液制得;在所述n型GaN台阶上沉积n型电极,在所述复合导电层上沉积p型电极;在氮气环境中进行退火,得到发光二极管芯片。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 江西兆驰半导体有限公司 一种发光二极管芯片制备方法及发光二极管芯片

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。