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申请/专利权人：青岛天仁微纳科技有限责任公司

摘要：本发明公开了一种基于误差分析的高精度纳米压印晶圆键合控制方法及系统，涉及半导体器件制备技术领域。包括获取向纳米压印晶圆键合设备输入的控制指令；基于控制指令设置误差范围。本发明通过实时采集纳米压印晶圆键合设备的运行数据，并利用预设的误差分析方法对数据进行处理，构建可视化波形图以直观地展示实时标记数据的变化趋势并基于判别范围确定误差分析表，进一步利用权重算法对误差等级进行量化评估，通过转化方法将误差分析结果转化为纳米压印晶圆键合设备的参数调节方案，并通过控制指令实现设备的精准控制的设置，不仅提高了纳米压印晶圆键合过程的精度和稳定性，还能够及时发现并解决潜在问题，间接性的提高生产效率。

主权项：1.一种基于误差分析的高精度纳米压印晶圆键合控制方法，其特征在于，包括：获取向纳米压印晶圆键合设备输入的控制指令；基于控制指令设置误差范围；获取纳米压印晶圆键合设备的关联数据集；基于关联数据集构建检测关联模型，检测关联模型基于控制指令特征检索关联数据集内同特征的数据，并输出匹配数据，获取纳米压印晶圆键合设备的参数数据集，基于关联方法，将匹配数据与参数数据集关联，并生成标记数据；构建判别反馈模型，判别模型用于实时获取标记数据，并基于标记数据来构建能够输出误差分析结果的误差分析表，基于误差分析结果向纳米压印晶圆键合设备输送用于调节参数的反馈数据；所述判别反馈模型包括：实时获取标记数据，并基于时间轴构建可视化波形图，基于误差范围在可视化波形图内设置判别范围，获取判别范围外的数据点属性值，并构建误差分析表，误差分析表内记录有每个数据点对应的误差等级；基于权重算法作用误差分析表中每个数据点的权重值，并将权重值高的数据点作为关键数据点，检索关键数据点对应在误差分析表的属性值，并输出误差分析结果，构建转化方法，将误差分析结果转化为反馈数据，基于反馈数据对纳米压印晶圆键合设备进行参数调节；所述检测关联模型包括：获取纳米压印晶圆键合设备的关联数据集，关联数据集包括：历史操作记录、实验数据，以及设备参数，提取关联数据集中关联纳米压印晶圆键合过程的参数特征，参数特征包括：温度、压力、时间以及速度，基于提取的参数特征构建参数特征库，将参数特征库作为检测关联模型的输入数据，基于机器学习算法训练检测关联模型，使训练检测关联模型能够根据控制指令的特征在参数特征库中检索到同特征的数据，并输出匹配数据，基于关联方法将匹配数据与纳米压印晶圆键合设备实时的参数数据集关联并生成标记数据；所述关联方法包括：提取匹配数据和实时的参数数据集中关联特征，关联特征包括：温度、压力、时间以及速度，基于相似度度量方法，算匹配数据与实时的参数数据集中每个数据点的相似度，预设相似度阈值，筛选出与匹配数据相似度较高的实时参数数据点，并与实时的参数数据集进行关联，生成标记数据。

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