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申请/专利权人：北京博视智动技术有限公司
摘要：本公开提供了一种基于条纹变形的缺陷检测方法、装置、设备和存储介质，该方法包括：获取待检测产品的条纹图像；由条纹图像中提取出缺陷的变形条纹图像；对变形条纹图像进行频域滤波，得到缺陷提取图像；基于缺陷提取图像，确定待检测产品的缺陷检测结果。通过本公开的方法仅需要使用一张待检测产品的条纹图像即可以确定出待检测产品的缺陷检测结果，从而提高了半导体产品的缺陷检测效率。
主权项：1.一种基于条纹变形的缺陷检测方法，其特征在于，包括：获取待检测产品的条纹图像；由所述条纹图像中提取出缺陷的变形条纹图像；对所述变形条纹图像进行频域滤波，得到缺陷提取图像；基于所述缺陷提取图像，确定所述待检测产品的缺陷检测结果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京博视智动技术有限公司 基于条纹变形的缺陷检测方法、装置、设备和存储介质
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