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申请/专利权人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
摘要：本申请公开了一种圆光栅编码器轴系测角误差补偿方法及系统，涉及精密测量技术领域，方法包括：采集两个标准球检验棒的赤道平面的跳动误差数据，以及通过读数头采集圆光栅的角度数据；分离出跳动误差数据的标准球圆度误差和主轴径向回转误差，得到两个标准球赤道平面各自的径向回转误差；基于傅里叶变换将两个标准球赤道平面的径向回转误差中与转速对应的一阶误差分离，并根据分离一阶误差后的两个径向回转误差计算出光栅平面的高阶偏心误差；采用等分平均法消除角度数据的一阶偏心误差，得到转动角度测量值；基于光栅平面的高阶偏心误差建立圆光栅编码器轴系测角误差的补偿模型，基于补偿模型对转动角度测量值的高阶误差进行补偿。
主权项：1.一种圆光栅编码器轴系测角误差补偿方法，其特征在于，方法包括：通过电容位移传感器采集两个标准球检验棒的赤道平面的跳动误差数据，以及通过读数头采集圆光栅的角度数据；分离出跳动误差数据的标准球圆度误差和主轴径向回转误差，得到两个标准球赤道平面各自的径向回转误差；基于傅里叶变换将两个标准球赤道平面的径向回转误差中与转速对应的一阶误差分离，并根据分离一阶误差后的两个径向回转误差计算出光栅平面的高阶偏心误差；采用等分平均法消除角度数据的一阶偏心误差，得到转动角度测量值；基于光栅平面的高阶偏心误差建立圆光栅编码器轴系测角误差的补偿模型，基于补偿模型对转动角度测量值的高阶误差进行补偿。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种圆光栅编码器轴系测角误差补偿方法及系统
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