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申请/专利权人：株洲三一硅能技术有限公司
摘要：本发明提供一种进料装置、推舟机构及原子层沉积设备。该进料装置包括送料总成；送料总成包括输送部件，输送部件包括机械手、第一导向组件及第二导向组件。其中，机械手用于抓取物料盒。第一导向组件与机械手连接，第一导向组件用于驱动机械手沿Y向运动以靠近或远离物料盒。第二导向组件与第一导向组件连接，第二导向组件用于驱动第一导向组件及机械手沿Z向同步运动。采用本发明的进料装置能够实现自动上料及下料，提高了生产效率，相较于现有的无法自动上料方式而言，可以满足现有的产能节奏。
主权项：1.一种进料装置，其特征在于，包括送料总成，所述送料总成包括输送部件210，所述输送部件210包括：机械手211，用于抓取物料盒；第一导向组件212，与所述机械手211连接，所述第一导向组件212用于驱动所述机械手211沿Y向运动以靠近或远离所述物料盒；第二导向组件213，与所述第一导向组件212连接，所述第二导向组件213用于驱动所述第一导向组件212及所述机械手211沿Z向同步运动。
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权利要求：
百度查询： 株洲三一硅能技术有限公司 进料装置、推舟机构及原子层沉积设备
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