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申请/专利权人：TOTO株式会社
摘要：本发明提供一种能够使接合层的厚度及拉伸弹性模量适当化，并能够降低施加在电介体基板上的热应力的静电吸盘。具体而言，静电吸盘10具备电介体基板100和由金属材料形成的底盘200以及被设置在电介体基板100和底盘200之间的接合层300。在使接合层300的厚度为Tμm，使‑100℃下的接合层300的拉伸弹性模量为EMPa时，满足E≦0.04×T‑0.04的条件。
主权项：1.一种静电吸盘，具备：电介体基板；底盘，由金属材料形成；及接合层，被设置在所述电介体基板和所述底盘之间，其特征在于，在使所述接合层的厚度为Tμm，使-100℃下的所述接合层的拉伸弹性模量为EMPa时，满足E≦0.04×T-0.04的条件。
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