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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供一种基板处理装置。相对于基板周围的腐蚀性的环境来保护用于向加热器的供电和加热器的控制的电气部件。基板处理装置具备：旋转驱动机构，其使保持着基板的旋转台绕旋转轴线旋转；处理液喷嘴，其向保持于旋转台的基板的上表面供给处理液；电加热器，其设置于顶板，隔着顶板对基板进行加热；电气部件，其设置于顶板的下表面侧，接收或发送用于向电加热器的供电和电加热器的控制的信号；以及周缘罩体，其与顶板的周缘部连接，与顶板一起旋转。在顶板的下方形成有收纳电气部件的收纳空间，收纳空间被包括顶板和周缘罩体的包围构造物包围，顶板的周缘部与周缘罩体之间被密封。
主权项：1.一种基板处理装置，其中，该基板处理装置具备：旋转台，其具有保持基板并使该基板旋转的顶板；旋转驱动机构，其使所述旋转台绕旋转轴线旋转；处理液喷嘴，其向保持于所述旋转台的所述基板的上表面供给处理液；电加热器，其设置于所述顶板，隔着所述顶板对所述基板进行加热；以及电气部件，其设置于所述顶板的下表面侧，接收或发送用于向所述电加热器的供电和所述电加热器的控制的信号，其中，所述顶板具有底座和吸附板，在所述底座设置有所述电加热器，所述吸附板以能够拆装的方式载置于所述底座的上表面，且所述吸附板具有用于吸附所述基板的上表面，所述底座具有用于将抽吸装置产生的抽吸力传递到所述吸附板以使所述吸附板吸附于所述底座的板用抽吸口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 基板处理装置
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