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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：提供一种适当地将多个相机与这些相机所拍摄的各被摄区域进行关联的技术。基板处理装置100为对基板W进行处理的装置。基板处理装置100具有：多个清洗处理单元1；多个相机70，对彼此不同的被摄区域PA进行拍摄；图像处理部815，对各相机70所拍摄的图像PH进行处理；以及关联处理部814，根据图像处理部815的图像处理，将各被摄区域PA与各相机70进行关联。
主权项：1.一种基板处理装置，用于处理基板，其中，具有：至少一个处理单元，对基板进行处理；第一相机以及第二相机，拍摄彼此不同的被摄区域；以及关联处理部，通过对由所述第一相机以及所述第二相机各自获得的图像进行处理，生成关联信息，所述关联信息表示所述被摄区域中的各被摄区域与所述第一相机以及所述第二相机中的各相机的关联。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置以及基板处理方法
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