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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：镀敷装置包括：基板搬运室701；风扇过滤单元408，配置于基板搬运室701的上方；镀敷室401，配置于基板搬运室701的侧面；排气室702，配置于基板搬运室701的下方；分隔部件720，将基板搬运室701和排气室702之间分隔；以及绕行流路730，以绕行分隔部件720的方式将基板搬运室701和排气室702连通，镀敷室401具有：供给口404，用于将通过风扇过滤单元408供给至基板搬运室701的气体供给至镀敷室401；以及排出口405，用于将供给至镀敷室401的气体向外部排出，排气室702具有排气口703，该排气口703用于将经由绕行流路730供给至排气室702的气体向外部排出。
主权项：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：基板搬运室，所述基板搬运室收容用于搬运基板的搬运装置；风扇模块，所述风扇模块构成为配置于所述基板搬运室的上方，对所述基板搬运室供给气体；镀敷室，所述镀敷室配置于所述基板搬运室的侧面，收容用于进行对基板的镀敷处理的镀敷模块；排气室，所述排气室配置于所述基板搬运室的下方；分隔部件，所述分隔部件将所述基板搬运室与所述排气室之间分隔；以及绕行流路，所述绕行流路以绕行所述分隔部件的方式将所述基板搬运室和所述排气室连通，所述镀敷室具有：供给口，所述供给口用于将通过所述风扇模块供给至所述基板搬运室的气体供给至所述镀敷室；以及排出口，所述排出口用于将供给至所述镀敷室的气体向外部排出，所述排气室具有排气口，所述排气口用于将经由所述绕行流路供给至所述排气室的气体向外部排出。
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