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申请/专利权人：杰宜斯科技有限公司
摘要：本发明涉及基板用通电装置，本发明包括：多个移送部，对基板进行移送并与所述基板通电，多个所述移送部能够接地；等候部，配置于相邻的所述移送部之间并与所述基板通电，所述等候部能够接地；以及处理部，对通过所述移送部投入的所述基板进行处理并与所述基板通电，所述处理部能够接地，本发明可通过在基板处理过程中迅速消除在基板产生的静电来防止基板不良。
主权项：1.一种基板用通电装置，其特征在于，包括：多个移送部，对基板进行移送并与所述基板通电，多个所述移送部能够接地；等候部，配置于相邻的所述移送部之间并与所述基板通电，所述等候部能够接地；以及处理部，对通过所述移送部投入的所述基板进行处理并与所述基板通电，所述处理部能够接地，其中，所述等候部包括：等候基座部，进行接地；等候托架部，连接于所述等候基座部的上侧并与所述等候基座部通电，其中，所述处理部包括：腔室部，进行接地；转轴部，安装于所述腔室部并与所述腔室部通电；操作台部，安装于所述转轴部并旋转，并且与所述转轴部通电；固定部，沿着所述操作台部的圆周方向安装有多个，并且与所述基板通电；以及驱动部，使所述固定部旋转并与所述固定部通电，所述驱动部与所述操作台部通电，其中，所述驱动部包括：驱动调节部，配置于所述转轴部内，并且能够调节上下长度；驱动升降部，安装于所述操作台部，并且能够通过所述驱动调节部进行上下移动；驱动旋转部，以能够旋转的方式安装于所述操作台部，并且通过所述驱动升降部的上下移动而旋转；驱动连杆部，所述驱动连杆部的两端部与所述驱动旋转部和所述固定部连接，随着所述驱动旋转部进行旋转，推动所述固定部而使所述固定部旋转；以及驱动保持部，内置于所述操作台部并与所述驱动连杆部连接，所述驱动保持部配置为限制所述驱动连杆部的移动。
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