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申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：本发明提供了便于用药液涂布基板的基板处理方法和基板处理装置，在一实施例中提供了基板处理方法，基板处理方法包括：准备基板的基板准备步骤；形成所述基板上的围绕预定区域的引导线的引导线形成步骤；将药液涂布到所述引导线内侧的药液涂布步骤；以及在所述药液涂布步骤之后执行的、去除所述引导线的引导线去除步骤。
主权项：1.一种基板处理方法，包括：准备基板的基板准备步骤；形成所述基板上的围绕预定区域的引导线的引导线形成步骤；将药液涂布到所述引导线内侧的药液涂布步骤；以及在所述药液涂布步骤之后执行的、去除所述引导线的引导线去除步骤。
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百度查询： 细美事有限公司 基板处理方法及基板处理装置
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