龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本发明公开了一种射频线圈安装调节装置、半导体设备及安装调节方法。该安装调节装置包括：托举架，处在整个装置的中心且安装于反应腔室顶部的中心位置；多个水平调节组件，径向同心安装于托举架的周向外侧，且可朝向水平方向伸缩调节；多个竖直调节组件，分别安装于多个水平调节组件的伸缩端，且可朝向竖直方向伸缩调节；多个竖直调节组件的伸缩端用于与射频线圈的线圈托架连接。本发明的安装调节装置可以使射频线圈与反应腔室径向同心，通过水平调节组件实现不同尺寸的射频线圈的安装，通过竖直调节组件实现射频线圈的安装高度的调节。
主权项：1.一种射频线圈安装调节装置，用于将射频线圈安装于半导体设备的反应腔室顶部，其特征在于，所述射频线圈安装调节装置包括：托举架，处在整个装置的中心且安装于所述反应腔室顶部的中心位置；多个水平调节组件，径向同心安装于所述托举架的周向外侧，且可朝向水平方向伸缩调节；多个竖直调节组件，分别安装于多个水平调节组件的伸缩端，且可朝向竖直方向伸缩调节；其中，多个竖直调节组件的伸缩端用于与所述射频线圈的线圈托架连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 一种射频线圈安装调节装置、半导体设备及安装调节方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号